问：铟锡氧化物（ITO）靶材烧结炉液压加压系统漏油，吸油棉片如何防止油污染ITO靶材？ 答：ITO靶材烧结炉液压加压系统在精密电子陶瓷生产区运行，液压油泄漏会污染铟锡氧化物靶材表面。高纯型吸油棉片可铺设在加压油缸下方和烧结炉基座上，吸附滴油。某光电材料厂ITO靶材烧结炉液压加压缸密封渗漏，液压油滴落至靶材表面。操作人员使用高纯型吸油棉片铺设在加压缸下方和烧结炉基座上，棉片吸附了滴落的液压油且未释放污染物。检修后清理棉片并隔离受污染的靶材批次。高纯型吸油棉片在ITO靶材烧结炉液压加压系统漏油中的吸附，保障了ITO靶材的导电性能。