问：铟镓锌氧化物（IGZO）靶材烧结炉液压升降系统漏油，吸油棉片如何嵌入半导体靶材生产区？ 答：IGZO靶材烧结炉液压升降系统在半导体靶材生产区运行，液压油泄漏会污染铟镓锌氧化物靶材表面影响薄膜晶体管性能。高纯型吸油棉片可铺设在升降机构下方和烧结炉基座上，吸附滴油。某半导体靶材厂IGZO烧结炉液压升降缸密封渗漏，液压油滴入烧结区。操作人员使用高纯型吸油棉片铺设在升降机构下方，棉片吸附了滴落的液压油且未释放污染物。检修后清理棉片。高纯型吸油棉片在IGZO靶材烧结炉液压升降系统漏油中的吸附，保障了IGZO靶材的致密度和纯度。