问：高校液压原子层沉积系统漏油，吸油棉围栏怎么拦住前驱体？ 答：微纳加工实验室的液压原子层沉积系统在三甲基硼和高温环境中工作。某实验室的沉积系统在生长氧化铝薄膜时，液压真空闸门密封微渗，液压油渗入真空腔。维修工将低挥发型吸油棉围栏围在闸门下方，围栏吸附了漏油。每月检查更换。