问:多晶硅厂还原炉液压籽晶提升系统漏油,吸油棉片怎么在高纯氢气里用? 答:改良西门子法多晶硅生产的还原炉内,液压籽晶提升系统控制硅芯的生长速度,液压缸在摄氏一千零八十度的硅棒辐射热和高纯氢气(纯度百分之九十九点九九九九)环境中工作。某多晶硅厂的还原炉在运行第三十天时,籽晶提升油缸的活塞杆密封出现微渗,液压油蒸气会污染高纯氢气环境,导致硅棒表面产生碳污染。维修工将超净型耐高温吸油棉片铺设在油缸下方的接油盘中。这种棉片在无尘车间内完成清洗和包装,每片表面微粒数控制在每平方英尺五十个以下,且经过高温脱气处理,不会释放挥发性有机物。棉片在摄氏一百五十度的辐射热环境中稳定工作,吸附了渗出的液压油。每十二小时更换一次棉片,在还原炉停炉前共使用了六十片,成功防止了液压油蒸气污染高纯氢气环境。
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