问:单晶硅厂直拉炉液压升障系统漏油,吸油棉枕怎么在氩气保护气氛里用? 答:单晶硅直拉法生长过程中,液压升障系统控制石英坩埚的升降,液压缸在摄氏一千四百度的硅熔体辐射热和氩气保护气氛中工作。某半导体级单晶硅厂的直拉炉在生长十二英寸硅棒时,升障油缸的活塞杆密封渗油,液压油滴入炉内会污染氩气纯度。维修工将超净型耐高温吸油棉枕塞入油缸下方的集油槽内。棉枕在摄氏二百度的辐射热环境中吸附了液压油,没有释放微粒或气体。每二十四小时更换一次,保障了单晶硅的生长质量。
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