问：多晶硅还原炉液压系统漏油，吸油棉围栏怎么拦住三氯氢硅？ 答：多晶硅化学气相沉积还原炉的液压炉门系统在摄氏一千零八十度的硅芯和氢气、三氯氢硅混合气体环境中工作。某多晶硅厂的还原炉液压炉门密封微渗，液压油滴入还原炉。维修工将耐高温防爆型吸油棉围栏围在炉门下方，围栏吸附了漏油。每次停炉后检查更换。